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用真空泵時,,需要注意下列事項:
1,、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求,。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,,選用的真空泵的真空度***少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級,。
2,、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好,。
3,、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空,;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用,。
5,、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,,應該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵,、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴格,,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,如加冷阱,、障板,、擋油阱等,也能達到清潔真空要求,。
6,、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,,如冷凝器,、除塵器等。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9,、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用,。
水環(huán)式真空泵的選擇
一,、泵類型的確定
泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定,。
泵工作時,,需要注意以下兩個方面:
1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行,。
2.應避免在***大真空度或***大排氣壓力附近運行,。在此區(qū)域內(nèi)運行,不僅效率極低,,而且工作很不穩(wěn)定,,易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,,在此區(qū)域之內(nèi)運行,,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內(nèi)有噪音和振動,。汽蝕會導致泵體,、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作,。
根據(jù)以上原則,,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取,。如果真空度或排氣壓力較高,,單級泵往往不能滿足,或者,,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置,。
如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好,。因為單作用泵的構造簡單,,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好,。
如果僅作較大氣量的壓縮機使用,,則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大,,體積小,,重量輕,徑向力能得到自動平衡,,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,,泵的使用壽命較長。
二,、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵
初步選定了泵的類型之后,,對于真空泵,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號,。
關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我廠網(wǎng)頁 真空計算公式,。